|
|
Sondová diagnostika impulzně generovaného plazmatu
Turek, Zdeněk ; Tichý, Milan (vedoucí práce) ; Kaňka, Adolf (oponent)
Předmětem bakalářské práce je diagnostika plazmatu v systému s magnetronem a s dutou katodou pracujícím v impulsním režimu, kdy je plazma generováno impulzy stejnosměrného napětí. Použitou diagnostickou metodou bude Langmuirova sonda. Cílem práce je konstrukce elektronického měřicího systému řízeného počítačem, a ověření jeho funkce při měření parametrů plazmatu argonového výboje v obou systémech s časovým rozlišením, tj. v závislosti na čase během jedné impulsní periody.
|
|
|
Diagnostika technologického plazmatu
Turek, Zdeněk ; Kudrna, Pavel (vedoucí práce) ; Kousal, Jaroslav (oponent)
Předmětem diplomové práce je rozšíření měření parametrů plazmatu Langmuirovou sondou v systému s planárním magnetronem a plazmovou tryskou pracujících v pulzním režimu. Hlavními úkoly jsou úprava měřicího obvodu pro zvýšení maximálního sondového proudu a zprovoznění USB osciloskopu pro sběr dat s vyšším rozlišením a vyšší vzorkovací rychlostí. Dále bude ověřena funkce celého zařízení pomocí testovacích obvodů a také měřením sondových charakteristik ve výbojích v systému s magnetronem i plazmovou tryskou a to v kontinuálním i pulzním režimu. 1
|
|
|
Diagnostika technologického plazmatu
Turek, Zdeněk ; Kudrna, Pavel (vedoucí práce) ; Kousal, Jaroslav (oponent)
Předmětem diplomové práce je rozšíření měření parametrů plazmatu Langmuirovou sondou v systému s planárním magnetronem a plazmovou tryskou pracujících v pulzním režimu. Hlavními úkoly jsou úprava měřicího obvodu pro zvýšení maximálního sondového proudu a zprovoznění USB osciloskopu pro sběr dat s vyšším rozlišením a vyšší vzorkovací rychlostí. Dále bude ověřena funkce celého zařízení pomocí testovacích obvodů a také měřením sondových charakteristik ve výbojích v systému s magnetronem i plazmovou tryskou a to v kontinuálním i pulzním režimu. 1
|
|
|
Sondová diagnostika impulzně generovaného plazmatu
Turek, Zdeněk ; Tichý, Milan (vedoucí práce) ; Kaňka, Adolf (oponent)
Předmětem bakalářské práce je diagnostika plazmatu v systému s magnetronem a s dutou katodou pracujícím v impulsním režimu, kdy je plazma generováno impulzy stejnosměrného napětí. Použitou diagnostickou metodou bude Langmuirova sonda. Cílem práce je konstrukce elektronického měřicího systému řízeného počítačem, a ověření jeho funkce při měření parametrů plazmatu argonového výboje v obou systémech s časovým rozlišením, tj. v závislosti na čase během jedné impulsní periody.
|
|
|
Depozice tenkých vrstev Ba.sub.x./sub.Sr.sub.1-x./sub.TiO.sub.3./sub. pomocí dvoutryskového RF plazmatického systému s efektem duté katody
Hubička, Zdeněk ; Virostko, Petr ; Olejníček, Jiří ; Deyneka, Alexander ; Adámek, Petr ; Valvoda, V. ; Jastrabík, Lubomír ; Šícha, Miloš ; Tichý, M.
Nízkotlaký systém dvou plazmových trysek s efektem duté katody byl použit pro depozice feroelektrických tenkých vrstev BaxSr1-xTiO3 (BSTO). V keramických tryskách vyrobených z SrTiO3 a BaTiO3 byl zapálen pulzně modulovaný RF výboj s efektem duté katody. Chemické složení vrstev BSTO bylo kontrolováno pomocí středního výkonu přiváděného na jednotlivé trysky. Rentgenová difrakce potvrdila, že deponované tenké vrstvy BSTO jsou polykrystalické s perovskitovskou strukturou. Časově rozlišená diagnostika Langmuirovou sondou a měřák impedance byly použity pro ´in situ´ kontrolu depozičních podmínek.
|
|
| |
host ::
RSS.